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四探針電阻測試儀的技術(shù)指標(biāo)

發(fā)布時間: 2021-04-26 20:23:23 點(diǎn)擊: 1743

四探針電阻測試儀的技術(shù)指標(biāo)


四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備,用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)。
 
四探針測試儀由主機(jī)、測試臺、四探針探頭、計算機(jī)等部分組成,測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,亦可由計算機(jī)控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機(jī)中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
 
四探針電阻測試儀的技術(shù)指標(biāo):
 
1.方塊電阻范圍:10-4~2×103Ω/□
 
2.電阻率范圍:10-5~2×104Ω-cm
 
3.測試電流范圍:10μA,100μA,1mA,10mA,100 mA
 
4.電流精度:±0.2%讀數(shù)
 
5.電阻精度:≤0.3%
 
6.顯示讀數(shù):液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率
 

7.測試方式: 普通單電測量

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