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GB/T 42271-2022半絕緣碳化硅單晶的電阻率非接觸測試方法

發(fā)布時間: 2023-08-23 11:04:49 點擊: 498

GB/T 42271-2022半絕緣碳化硅單晶的電阻率非接觸測試方法
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半絕緣碳化硅單晶是一種半導(dǎo)體材料,具有高電阻率和寬禁帶特性,被廣泛應(yīng)用于高壓器件、射頻器件和高溫器件等領(lǐng)域。特別是在氮化鎵射頻器件、電力電子、微波射頻器件、發(fā)光二極管等應(yīng)用方面具有極大的潛力。

半絕緣碳化硅單晶的生長通常采用物理氣相輸運技術(shù),如高溫氯化物化學(xué)氣相沉積法,其工藝復(fù)雜,設(shè)備昂貴,且生長速率極低。因此,半絕緣碳化硅單晶襯底材料的制備面臨諸多挑戰(zhàn)。
電阻率非接觸測試方法是一種測量材料電阻率的方法,該方法不需要直接接觸材料表面,而是通過測量材料表面的電特性來計算電阻率。這種測試方法適用于一些不能直接接觸測量的情況,例如在高電壓、高溫或特殊環(huán)境下的材料測量。

常見的電阻率非接觸測試方法包括:

電容法:該方法通過測量材料的電容來計算電阻率。通過改變電極之間的距離和電壓,可以測量不同情況下的電容值,并由此計算出材料的電阻率。
磁阻法:該方法通過測量材料的磁阻來計算電阻率。在磁場中,通過測量導(dǎo)體中的電壓和電流,可以計算出電阻率。
光學(xué)法:該方法通過測量材料的光學(xué)特性來計算電阻率。例如,通過測量材料的反射和透射光譜,可以計算出材料的電阻率。

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