GB/T 14141-2009硅外延層、擴散層和離子注入層薄層電阻的測定 直排四探針法
發(fā)布時間： 2023-08-23 13:31:04 點擊： 448
GB/T 14141-2009硅外延層、擴散層和離子注入層薄層電阻的測定 直排四探針法
規(guī)定了使用直排四探針法測定硅外延層、擴散層和離子注入層薄層電阻的方法。該標準適用于半導體器件和材料中硅外延層、擴散層和離子注入層的薄層電阻測量。
根據(jù)標準，測試設備應包括直排四探針測試儀、夾具、電源和測量儀器等。測試時，將待測樣品放在夾具上，然后將直排四探針接觸到樣品表面，并施加一定的電壓，測量樣品的電流值。通過測量多個點，可以得到樣品的薄層電阻分布情況。
該方法的優(yōu)點是不需要剝離樣品，不會對樣品造成損*傷，測試速度較快，適合于自動化測試。但需要注意的是，測試結(jié)果受到探針與樣品接觸電阻、測試環(huán)境的溫度和濕度等因素的影響。因此，在進行測試時，需要控制測試條件并采取必要的修正措施，以保證測試結(jié)果的準確性。
總之，GB/T 14141-2009標準提供了使用直排四探針法測定硅外延層、擴散層和離子注入層薄層電阻的方法，對于評估半導體器件和材料的電性能具有重要意義。
直排四探針法是一種常用的測試方法，用于測量半導體材料的電阻率。該方法使用四個探針按照直線排列，直接接觸材料的表面進行測試。
直排四探針法的優(yōu)點包括：
測試速度快，適合于批量測試。
對樣品的要求較低，不需要進行特殊處理。
測量結(jié)果受樣品形狀和尺寸的影響較小。
直排四探針法的測試原理是基于歐姆定律，通過測量探針之間的電壓和電流來計算材料的電阻率。具體來說，將四個探針按照直線排列，分別與材料接觸，然后通過電源向材料施加一定的電流，同時測量材料兩端的電壓。根據(jù)歐姆定律，可以計算出材料的電阻率。
需要注意的是，直排四探針法只能測量材料的平均電阻率，無法測量材料的局部不均勻性和突變。此外，測試結(jié)果受到探針與材料接觸電阻、測試環(huán)境的溫度和濕度等因素的影響。因此，在進行測試時，需要控制測試條件并采取必要的修正措施，以保證測試結(jié)果的準確性。
