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ASTM F390-2011用共線四探針?lè)y(cè)定金屬薄膜的薄膜電阻的標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)方法

發(fā)布時(shí)間: 2023-08-24 12:37:51 點(diǎn)擊: 1331
ASTM F390-2011用共線四探針?lè)y(cè)定金屬薄膜的薄膜電阻的標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)方法
ASTM F390-2011是一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的試驗(yàn)方法,用于使用共線四探針?lè)y(cè)定金屬薄膜的薄膜電阻。以下是該方法的基本概述:
準(zhǔn)備設(shè)備:需要準(zhǔn)備共線四探針測(cè)量設(shè)備、金屬薄膜樣品、夾具、電源、信號(hào)發(fā)生器、測(cè)量?jī)x表等。
樣品制備:制備金屬薄膜樣品,確保其表面平整、無(wú)瑕疵,并滿足試驗(yàn)要求。
探針的放置:將共線四探針按要求放置在金屬薄膜樣品的表面上,確保探針間距準(zhǔn)確且相互平行。
電源連接:將電源連接到共線四探針測(cè)量設(shè)備的輸入端,并將信號(hào)發(fā)生器連接到輸出端。
測(cè)試信號(hào)的施加:通過(guò)共線四探針測(cè)量設(shè)備向金屬薄膜樣品施加測(cè)試信號(hào),例如直流電壓或交流電壓。
電阻測(cè)量:通過(guò)測(cè)量?jī)x表讀取探針間的電壓降,并根據(jù)探針間距計(jì)算出金屬薄膜的薄膜電阻。
數(shù)據(jù)記錄和處理:記錄試驗(yàn)過(guò)程中的數(shù)據(jù),例如測(cè)試信號(hào)的波形、探針間的電壓降、計(jì)算的薄膜電阻等。
重復(fù)試驗(yàn):為了獲得更準(zhǔn)確的結(jié)果,可以重復(fù)進(jìn)行試驗(yàn),并取平均值。
需要注意的是,該方法的具體步驟和要求可以在ASTM F390-2011標(biāo)準(zhǔn)中詳細(xì)查閱。
共線四探針?lè)ㄊ且环N用于測(cè)量薄膜電阻的測(cè)試方法。該方法的基本原理是,在薄膜表面上使用四個(gè)探針按一定間距排列,施加測(cè)試信號(hào),并通過(guò)測(cè)量探針間的電壓降來(lái)計(jì)算薄膜電阻。共線四探針?lè)ㄖ饕獞?yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè),用于測(cè)量半導(dǎo)體薄膜的電阻率。
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